КОМПЕНСАЦИЯ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Волков Вадим Сергеевич, кандидат технических наук, старший научный сотрудник, Научно-исследовательский институт физических измерений, distorsion@rambler.ru
Баринов Илья Николаевич, кандидат технических наук, начальник отдела, Научно-исследовательский институт физических измерений, mzungu@inbox.ru

621.3.032

Описано использование терморезисторов с положительным и отрицательным ТКС для компенсации температурной погрешности высокотемпературных тензорезистивных датчиков в случае нелинейной температурной зависимости тензорезисторов.

Ключевые слова

высокотемпературный тензорезистивный датчик, температурный коэффициент сопротивления, нелинейная температурная зависимость

 Скачать статью в формате PDF

1. Ваганов, В. И. Интегральные тензопреобразователи / В. И. Ваганов. – М. : Энергоатомиздат, 1983. – 136 с.
2. Мокров, Е. А. Полупроводниковые пьезочувствительные элементы микроэлектронных датчиков давлений. Основы проектирования и разработки : учеб. пособие / Е. А. Мокров, И. Н. Баринов, П. Н. Цибизов. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2009. – 104 с.
3. Гридчин, В. А. Физика микросистем : учеб. пособие : в 2 ч. / В. А. Гридчин, В. П. Драгунов. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2004. – Ч. 1. – 16 с.